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混气齐发国际娱乐PECVD系统

]资料
高温磁力搅拌器
产品名称: 混气齐发国际娱乐PECVD系统
产品型号:
产品展商: 郑州齐发国际娱乐仪器设备有限公司
关注指数:65535

简单介绍
混气齐发国际娱乐PECVD系统,200x200x300mm (温度、炉膛尺寸均可定制) 特点:升温速度极快

混气齐发国际娱乐PECVD系统

   的详细介绍
混气齐发国际娱乐PECVD系统

产品特点

多晶纤维炉膛多晶纤维炉膛,节能耐腐蚀
重量轻、升温速度快、节能、省时、耐高温、耐腐蚀、保温性好,能满足何种快速烧结的要求。
高纯石英炉管炉管采用高纯度石英玻璃材料工艺加工
具有极低的热膨胀系数、耐高温、化学稳定性好、电绝缘性好。
双层内胆炉壳双层内胆炉壳,配有风冷系统,快速升降温
整个炉体采用双层内胆式结构,中间有气隙隔离,即使炉膛温度高达1200℃,炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。

真空法兰法兰采用双环密封技术

有效的提高了法兰的气氛性,法兰上装有多种接头,可接电阻真空计、真空波纹管并能做成容易撤卸的铰链式。


合金电热丝内嵌式合金电热丝,升温快,寿命长
加热元件采用优质内嵌式合金电热丝,发热效率高、耐高温、抗氧化、耐腐蚀、升温快、寿命长、高温变形小、安装维修方便,使用寿命长。
微电脑PID控制器微电脑PID控制器,操作简便
操作简便,控温精确、可靠、安全多段可编程控制,可以简化复杂的试验过程,真正实现自动控制和运行。
炉体配有:输出电压和输出电流监测表,炉子加热状态一目了然。
高真空分子泵组真空系统采用高真空分子泵组,性能卓越
性能可靠:整体型复合转子,强度高、性能稳定;
洁净无油:采用脂润滑精密陶瓷轴承,无油蒸汽污染。

产品参数

齐发国际娱乐炉系统

炉管尺寸

直径60mm

加热区长度

440mm(更多规格可按照客户要求定制)

正常工作温度

1100℃

最高工作温度

1200℃

加热元件
掺钼合金加热丝
炉膛材质
采用日本进口炉膛材料,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强

控温方式

智能化30段可编程控制(用户可选配液晶触摸屏显示)

真空系统
高真空分子泵组,高真空复合真空计

前级泵2升每秒,分子泵600升每秒

采用KF25系列波纹管和真空挡板阀连接

质子流量计

高精度质量流量计可准确的控制气体流量

气体流量范围为0-500SCCm 误差为0.02%

出气真空压力表,内置气体混气系统,

不锈钢针阀计管道,标准双卡套接头 

射频电源系统

输出功率

50-500W最大可调±1%

RF频率

13.56MHz,稳定性±0.005%

噪声

≤55DB

冷却

风冷

输入功率

1KW  AC 220V

提供相关配件

气炼石英炉管、真空法兰、高温手套、坩埚钩、热电偶、防烫罩、刚玉坩埚、炉塞

电气认证
CE认证
售后服务
12个月质保、终身保修


可选配件:


4路质子流量计
真空系统
射频电源

质子流量计×1

真空系统×1
射频电源×1
气炼石英炉管
真空法兰
热电偶
气炼石英炉管×1
真空法兰×1
防烫罩×2
高温手套
坩埚钩
热电偶
高温手套×1
坩埚钳×1
热电偶×1
刚玉坩埚
炉塞

刚玉坩埚×2
炉塞×2


注:炉管、坩埚可按用户需求选配合适的款型

可选配件:

液晶触摸控制仪

 1.实现烤箱/电炉的升温、保温、降温工艺过程全自动。
 2.工艺人员可以将几段程序编制成1条控温曲线,保存于触摸屏内,带密码保护功能,可一次性编制多条曲线。
 3.具备断电记忆功能,查询已完成的工艺阶段。
 4.现场操作人员需要调用某条温控曲线时,直接输入曲线序列号即可调用该条曲线,简单方便,杜绝错误发生。
 5.具备多组历史数据记录功能。
 6.具备同时显示多段温度及时间功能。



全自动智能型水冷机
水冷机

  1.制冷量达1800W,可选用环保冷媒;

  2.温控精度可达±0.3℃;

  3.智能温控器具有两种温控模式,适用于不同的使用场合;

  有多种设定和故障显示功能;

  4.具有多种报警保护功能:压缩机延时保护;压缩机过流

  保护;水流报警;温度超高/低报警;

  5.多国电源规格,CE、RoHS认证;

  6.长寿耐用,操作简便;

  7.可选配加热器和净化水质配置。


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